等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器。
   本工藝在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、較板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
微波激發區
   工藝有3至9個微波激發單位，根據被處理風量的不同數量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內有效作用于被處理空間（區域），由于微波的功率相對較小，因此在激發能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設計只是把微波作為初頻激發源，在處理過程中作為一種預激發能。由于微波的預激功能，較大的提高等離子體區，較板區的激發能力和處理效果，由于微波技術的運用，本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果優越。

   低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質*四態，當外加電壓達到氣體的 放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。

   放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在較短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。（注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。）

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