機械動力設備的扭矩變化是其運行狀況的重要信息,扭矩測試是各種機械產品開發、質量檢驗、優化控制、工況監測和故障診斷等必不可少的內容。扭矩傳感器已廣泛應用于各種機械設備的動力驅動系統優化設計和智能控制上。目前,國內外研制和開發的扭矩傳感器種類很多,從原理上講,主要分為應變型、磁彈性型、轉角型和其他型等4種。 隨著各種系統的自動化程度和復雜性的提高,需要獲取的信息越來越多。這不僅對傳感器的精度、**性和響應速度提出了越來越高的要求,還要求傳感 器有標準輸出形式以便和系統掛接。 根據較近幾年國內外的研究,扭矩測量正呈現以下的發展趨勢： (1)由靜態測試向動態在線檢測方向發展; (2)由先測應變再間接轉換成應力或扭矩而向直接測應力或扭矩方向發展,并提高檢測精度; (3)測試系統向微型化、數字化、智能化、虛擬化和網絡化方向發展; (4)從單功能向多功能發展,包括自補償、自修正、自適應、自診斷、遠程設定、狀態組合、信息存儲和記憶; (5)扭矩檢測與動力裝置的控制系統相結合,達到轉速、扭矩、輸出功率之間的優化配置,**機械設備運行在較佳狀態 半導體傳感器的發展可以分為四個期間
現代壓力傳感器以半導體傳感器的發明為象征，而半導體傳感器的發展可以分為四個期間：   
（1） 發明期間（1945 - 1960 年）：這個期間首要是以1947 年雙極性晶體管的發明為象征。此后，半導體材料的這一特性得到較廣泛應用。史密斯（C.S. Smith） 與1945 發現了硅與鍺的壓阻效應，即當有外力作用于半導體材料時，其電阻將明顯發生變化。依據此原理制成的壓力傳感器是把應變電阻片粘在金屬薄膜上，即將力信號轉化為電信號進行測量。此期間較小尺寸大約為1cm。   
（2） 技術發展期間（1960 - 1970 年） ：隨著硅分散技術的發展，技術人員在硅的（001） 或（110） 晶面選擇合適的晶向直接把應變電阻分散在晶面上，然后在背面加工成凹形，形成較薄的硅彈性膜片，稱為硅杯。這種形式的硅杯傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩定性好、成本低、便于集成化的優點，實現了金屬- 硅共晶體，為商業化發展提供了可能。   
（3） 商業化集成加工期間（1970 - 1980 年） ：在硅杯分散理論的基礎上應用了硅的各向異性的腐蝕技術，分散硅傳感器其加工技術以硅的各項異性腐蝕技術為主，發展變成可以自動控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術，首要有V 形槽法、濃硼自動中止法、陽極氧化法自動中止法和微機控制自動中止法。因為可以在多個表面同時進行腐蝕，數千個硅壓力膜可以同時生產，實現了集成化的工廠加工模式，成本進一步降低。  
（4） 微機械加工期間（1980 年-） ：上世紀末出現的納米技術，使得微機械加工技術變成可能。通過微機械加工技術可以由計算機控制加工出結構型的壓力傳感器，其線度可以控制在微米級范圍內。利用這一技術可以加工、蝕刻微米級的溝、條、膜，使得壓力傳感器進入了微米期間。
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