超聲波清洗技術較早出現于20世紀30年代早期,當時,位于美國新澤西州的美國無線電公司的一個實驗室中的技術人員嘗試用自制的簡陋超聲波清洗系統清洗某些物體,但試驗未獲成功。超聲波可以對工件施加非常巨大的能量,尤其適用于清除牢固地附著在基底上的污垢。然而在某些情況下,超聲波強大的能量也會損傷粘有污垢而性質脆弱的基底材料。在過去的十幾年中,超聲波領域中出現了一些技術革新,提高了清除敏感基底上的污物的安全系數。在此期間,超聲波技術,特別是中高頻超聲波清洗技術有了新的發展,并成為行業的亮點。

     近年來,人們發現用兆聲波(根據超聲波的頻率不同,把40 kHz及其以下的稱為常規或低頻超聲波,把1 000 kHz以上的稱為高頻超聲波,又稱兆頻超聲波,簡稱兆聲波)清洗可以去除掉半導體材料表面上的**細污垢微粒,并且不會損傷基底材料的表面。目前這項技術已經得到了很快的普及。

 超聲波清洗機常見問題：
       超聲波振子受潮，可以用兆歐表檢查與換能器相連接的插頭，其中2腳為超聲波換能器的正極，3腳是換能器的負極而且與換能器的外殼相連。檢查，23腳間的絕緣電阻值就可以判斷基本情況，一般要求絕緣電阻大于30兆歐以上。如果達不到這個絕緣電阻值，一般是換能器受潮，可以把換能器整體（不包括噴塑外殼）放進烘箱設定100℃左右烘干3小時或者使用電吹風去潮至阻值正常為止。

換能器振子打火，陶瓷材料碎裂，可以用肉眼和兆歐表結合檢查，一般作為應急處理的措施，可以把個別損壞的振子斷開，不會影響到別的振子正常使用。
振子脫膠，我們的換能器是采用膠結，螺釘緊固雙重保證工藝，在一般情況下不會出現這種情況，由于螺釘的作用，振子脫膠后不會從振動面上落下，一般的判斷方法是用手輕搖振子的尾部，仔細觀察振動面的膠水情況做出判斷。一般振子出現脫膠以后超聲波電源輸出的功率正常，但是由于振子與振動面連接不好，振動面的振動效果不好，長時間后可能會燒壞振子。

 清洗介質：采用超聲波清洗，一般有兩類清洗劑即化學溶劑和水基清洗劑。清洗介質的化學作用可以加速超聲波         清洗效果，超聲波清洗是物理作用，兩種作用相結合，依對物件進行充分、徹底的清洗。
        功率密度：超聲波的功率密度越高，空化效果越強，速度越快，清洗效果越好，但對于精密的表面光潔度甚高的物件，采用長時間的高功率密度清洗會對物件表面產生空化、腐蝕。
        超聲頻率：適用于工件粗、臟、初洗，頻率高則超聲波方向性強，適合于精細的物件清洗。
        清洗高溫：一般來說，超聲波在50°C~60°C時的空化效果較好，清洗劑也不是溫度越高，作用越顯著，有可能會高溫失效，通常超聲波在**過85°C時，清洗效果已變差。所以實際應用超聲波清洗時，采用50°C~70°C的工作溫度。

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