適合的應(yīng)用：
◆ 化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)單晶金剛石（基臺直徑5厘米）;
◆ 化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和金剛石膜等各種碳納米薄膜。

產(chǎn)品特點：
◆ 本產(chǎn)品為不銹鋼腔體式5kw微波等離子體設(shè)備，功率密度高；
◆ 水冷式基片臺和水冷式金屬反映腔，**系統(tǒng)能長時間穩(wěn)定工作；
◆ 基片溫度以微波等離子體自加熱方式達到；
◆ 真空測量儀表采用全量程真空計，可精確測量本底真空和工作氣體壓強；
◆ 真空泵及閥門采用渦輪分子泵(極限真空為1x10-5Pa)和旋片式機械真空泵(極限真空為6x10-2Pa)，裝置可調(diào)節(jié)高真空隔膜閥和并聯(lián)高真空微調(diào)閥控制沉積氣壓；
◆ 配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，無水源要求，確保裝置高功率下可長時間安全穩(wěn)定運行；
◆ PLC自動控制和手動操作兩種操作模式，工藝流程可重復(fù)；
◆ 可配置沉積氣壓自動控制模塊與全自動工藝控制模塊，以便于穩(wěn)定可靠地制備高品質(zhì)金剛石薄膜和晶體。

深圳優(yōu)普萊等離子體技術(shù)有限公司專業(yè)從事微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研究開發(fā)和相關(guān)設(shè)備、產(chǎn)品的生產(chǎn)，致力于微波等離子體應(yīng)用技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化。
公司由長期從事微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研究開發(fā)、多次參與國家重大科學(xué)工程研究的*和產(chǎn)業(yè)化*聯(lián)合創(chuàng)建，**團隊來自中科院等離子體物理研究所、中國科技大學(xué)、北京大學(xué)等國內(nèi)良好科研機構(gòu)。公司擁有一批微波等離子體應(yīng)用技術(shù)方面的**，打造了一支經(jīng)驗豐富的融合了微波和等離子體技術(shù)、電氣自控技術(shù)、機械設(shè)計加工和成套工程技術(shù)的精干團隊。公司在微波等離子體領(lǐng)域已經(jīng)積累了一整套具有自主知識產(chǎn)權(quán)的系列產(chǎn)品和技術(shù)，在國內(nèi)居良好地位，并已與國內(nèi)外眾多家大學(xué)、科研機構(gòu)和企業(yè)等用戶有著密切的合作關(guān)系。
公司是HASS（Hardware As Solutions and Services）經(jīng)營理念的提出者，較是踐行者。公司已經(jīng)為多個重大研究課題提供了定制化設(shè)備和綜合解決方案，確保了項目順利完成。
公司的愿景是成為**等離子體應(yīng)用領(lǐng)域的*企業(yè)，用科研的沉淀和應(yīng)用的創(chuàng)新，為“中國制造2025”戰(zhàn)略目標的實現(xiàn)做出積極貢獻。
公司總部設(shè)于深圳，在合肥設(shè)有優(yōu)普萊等離子體應(yīng)用技術(shù)研究院。