主要技術(shù)規(guī)范
1、真空室內(nèi)腔尺寸：寬×高×深：1950×1050×750（mm）
2、極限真空：1.3×10-4Pa(空載時)
3、抽氣時間：從大氣到9.7×10-4Pa≤50min
4、升壓率：≤5Pa/h。
5、真空測量：雙熱偶電離復(fù)合真空計1臺，熱偶規(guī)2支，大氣壓-1Pa；
電離規(guī)2支，10Pa-10-5Pa。
6、可鍍卷材：較大幅寬：150mm，較大卷徑：φ=400mm
7、卷繞速度：0.1-10mm/min
8、加熱器：
加熱器高功率：IGBT電源，35KW（可根據(jù)用戶要求配置）
數(shù)量：2個
加熱區(qū)域：控溫精度1℃，溫度均勻性3℃
9、氣氛控制：3臺D07—7B/ZM型氣體質(zhì)量流量計，
10、真空系統(tǒng)：由脂潤滑分子泵，前級機械泵，羅茨泵，電磁氣動真
空閥門，真空管道組成。
11、冷卻水：循環(huán)冷卻水機。
去離子水電導(dǎo)率：小于50μ?S /cm
壓力:0.1～0.25MPa,??流量：約10T/h，水溫＜25℃
16、總功率：三相四線，380V，50HZ，80KV。
17、電氣控制系統(tǒng)一套，主要元器件均為施耐德品牌。
18、總控系統(tǒng)：PLC控制，互鎖設(shè)定，觸摸屏顯示（可根據(jù)要求定制）。

公司名稱（現(xiàn)用名）：北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責任公司
公司名稱（曾用名）：北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司
覆蓋區(qū)域：北京、天津、河北

    北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責任公司，原名北京科立方真空技術(shù)應(yīng)用有限公司，創(chuàng)立于2013年，位于中國·首都北京密云經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)，主體經(jīng)營分為真空配件銷售、真空設(shè)備定制、淺藍納米科技三個部分，是北京從事真空產(chǎn)品設(shè)計、制造、銷售、維修、保養(yǎng)于一體的專業(yè)性的公司，公司擁有一支專業(yè)、優(yōu)秀的產(chǎn)品技術(shù)工程師和維修技術(shù)工程師，具有豐富的行業(yè)經(jīng)驗，同時還與北京工業(yè)大學(xué)聯(lián)合研發(fā)等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，與北京交通大學(xué)聯(lián)合研發(fā)原子層沉積系統(tǒng)，滿足高校、研究所的教學(xué)、科研使用，同時減少相關(guān)進口設(shè)備的市場占有率，并力爭創(chuàng)造外匯，打出中國創(chuàng)造的**！  
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