1.產品概述
本產品是一款基于新型層流元件設計的層流質量流量計，采用內部補償型層流差壓技術，現代化的制造工藝，具有精度高、量程比寬、響應速度快和可靠性高等優點，并且可以精確地測量較小流量。該流量計可測量工質有液體、氣體和蒸汽，并且無前后直管段要求，便于現場安裝，在工業測量領域可以廣泛應用。
本公司設計研發的新型層流元件，采用內部補償型的層流壓差技術，使得流量計精度更高，重復性更好，并可以精確地測量較小流量，再配套**的信號處理技術，使響應速度更快，可以滿足不同需求的流量測量場合。無論是液體、氣體還是蒸汽，本公司的層流質量流量計都可以**同樣優良的測量性能。同時采用現代化的加工制造工藝，讓產品的可靠性更加顯著，可以適應不同的工作環境，應用范圍更廣。較其他類型的質量流量計，本公司的層流質量流量計沒有前后直管段要求，可大大減少現場安裝空間，便于現場安裝。
2.工作原理
層流質量流量計基于Hagen-Poiesuille’s Law（哈根-泊肅葉定律）設計的，該定律描述了在溫度、管徑等參數一定的情況下，圓管內的不可壓縮牛頓流體是層流運動狀態時，體積流量與壓降線性相關。當流體流量發生變化時，層流元件兩端的壓差會相應改變，因此，通過壓差傳感器讀取流體流過層流元件時的壓差，可計算出體積流量，再對該體積流量進行壓力和溫度修正，從而獲得標準體積流量和質量流量。
3.產品特點
高重復性：重復性高達0.1%
高精度：氣體測量精度1%
高可靠性：流量計內部無運動部件，可靠性高；
響應速度快：達到0.001s
多參數在線顯示：可同時顯示瞬時流量、累積流量、溫度、壓力、時間等參數；
多種信號輸出方式：可根據客戶需求選擇（4～20）mA和RS485輸出
    復雜環境適應性：可提供高達IP67防護等級的流量計
測量介質廣泛：可測量各種潔凈氣體（如空氣、氦氣、氮氣、氬氣、二氧化碳等）和液體
安裝時無直管段要求，節省安裝空間
內置壓力和溫度模塊，不受環境壓力和溫度變化的影響；
4.應用領域：
半導體行業中單晶爐多晶爐的氣相沉積生產工藝
環保領域的采樣流量檢測與校準
表面處理中的真空鍍膜
熱處理過程中保護氣體的控制
用于生物制藥的生物反應器
冶金行業的吹氬攪拌和保護
輕工業、食品、紡織等行業中的工藝過程計量與控制。
醫藥、化工等行業的精確配料和反應過程的控制。
航空航天、汽車制造等行業動力裝置系統的工作性能監控與質量安全控制、出廠檢驗等。
材料熱處理工藝的保護氣體流量與溫壓控制。
另外，也可應用于科學研究、泄漏測試、環境監測、半導體、光纖制造等行業。
5.系列選型
（1）九大系列：
G100—ST氣體標準流量系列
G100—MR氣體小流量系列
G100—QC氣體快速響應系列
G100—RA氣體較快速相應系列
G100—GD氣體高防護等級系列；
L150—ST液體標準流量系列
L150—MR液體小流量系列
L150—QC液體快速響應系列
L150—GD液體高防護等級系列
5.1氣體流量系列
氣體層流質量流量計流量范圍為25SCCM～1000SLPM，具體流量分為（上限流量，單位為SLPM）0.5、1、2、5、10、20、50、100、150、250、500、1000，流量計量程比為20:1，精度等級為1.0。

注意：
SLPM：標準公升每分鐘流量值
標準狀態定義：溫度—20℃
          **壓力—101.325KPa
G100—ST氣體標準流量系列
氣體標準流量系列層流質量流量計可準確測流氣體的體積流量、質量流量、壓力和溫度。
標準流量系列層流質量流量計選用新型層流傳感器，采用層流壓差技術，使得氣體流動過程中保持層流運動，流量計內裝有壓力傳感器和溫度傳感器，充分補償因壓力和溫度引起的氣體體積流量的變化，并將該體積流量轉化為標況體積流量。
流量計帶有集成式多功能數字顯示屏，具有多參數在線顯示功能，可同時顯示瞬時流量、累積流量、溫度、壓力、時間等參數。
流量計內部無可移動部件和發熱元器件，*啟動預熱時間，*前后直管段，測量精度高，重復性高，響應速度可達0.1s，并兼容模擬信號和數字信號的輸出。
上限流量（SLPM）	精度等級	響應時間（s）	防護等級	上限工作壓力（MPa）	供電	輸出
50	1.0	0.1	IP65	1.0	24V DC	(4～20)mA/RS485
100	1.0	0.1	IP65	1.0	24V DC	(4～20)mA/RS485
150	1.0	0.1	IP65	1.0	24V DC	(4～20)mA/RS485
250	1.0	0.1	IP65	1.0	24V DC	(4～20)mA/RS485
500	1.0	0.1	IP65	1.0	24V DC	(4～20)mA/RS485
1000	1.0	0.1	IP65	1.0	24V DC	(4～20)mA/RS485

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