
?? 無塵車間不同級別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點:對于300000級空氣凈化處理,可采用亞高效過濾器代替高效過濾器;空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理,應采用初、中、高效過濾器三級過濾器;中效或高效空氣過濾器宜按小于或等于額定風量選用;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節的正壓段;高效或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統的末端。
? ? 另外,還要注意:1、裝配式潔凈廠房的全部維修構件在工廠內按統一模數及系列加工完成,適于批量生產,質量穩定,供貨*。2、機動靈活,即適合在新建廠房配套安裝,也適宜老廠房的凈化技術改造。維修結構也可隨工藝要求任意組合,拆卸方便。3、需要輔助建筑面積較小,對土建筑裝修要求低。潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。
? ? 例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以**有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜**過25度,濕度過高產生的問題更多。相對濕度**過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
? ? 此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以*。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也*吸附于表面,同時大量半導體器件*發生擊穿。對于硅片生產比較好的濕度范圍為35—45%。
山東曙天凈化科技有限公司(以下簡稱“曙天科技”)取之 駱賓王的 《海曲書情》中的"白云照春海,青山橫曙天";曙天科技始建于21世紀初,**致力于大氣污染治理裝備的研究開發,積極參與促進全國環保產業。 曙天科技引進消化吸收***公司的**環保技術,開發出自己的初效板式過濾器,中效袋式過濾器,以及FV.HV亞*過濾器和*過濾器等環保科技產品。目前公司主導產品包括有:G1初效過濾器,G2初效過濾器,G3初效過濾器,G4初效過濾器;F5中效袋式過濾器,F6中效袋式過濾器,F7中效袋式過濾器.F8中效袋式過濾器,F9中效袋式過濾器;金屬孔網過濾器;FV,HV,亞*過濾器。H12,H13,H14*有隔板和無隔板過濾器;工業除塵袋,噴涂濾芯,風淋室,臭氧設備等產品,并且贏得廣大市場上客戶的認可和厚愛。