真空泵工作原理

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真空泵的工作原理 ? 一、2X型旋片式真空泵簡稱旋片泵工作壓強范圍為101325~1.33×10-2Pa屬于低真空泵。它可以單獨使用也可以作為其它高真空泵或**高真空泵的前級泵。它已廣泛地應用于冶金、機械、電子、化工、輕工、石油等生產(chǎn)和科研部門。 ?旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體若附有氣鎮(zhèn)裝置還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。 ?旋片泵是真空技術中較基本的真空獲得設備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級和雙級兩種。所謂雙級就是在結構上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的以獲得較高的真空度。 ?旋片泵的抽速與入口壓強的關系規(guī)定如下在入口壓強為1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1Pa下其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。

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真空泵

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氦檢漏真空箱氦檢漏回收系統(tǒng)

干泵國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。

　　水環(huán)泵水環(huán)真空泵（簡稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機，稱為水環(huán)式壓縮機，氦檢漏儀，是屬于低壓的壓縮機，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。水環(huán)泵較初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫(yī)yao及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到廣泛的應用。由于真空應用技術的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應用日益增多。如圖：在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中順時針方向旋轉時，水環(huán)的上部內表面剛好與葉片*接觸（實際上葉片在水環(huán)內有一定的插入 深度）。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點，真空箱氦檢漏回收系統(tǒng)，那么葉輪在旋轉前180°時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當葉輪繼續(xù)旋轉時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當小腔與排氣口相通時，氣體便被排出泵外。

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