基本參數 X向量程：100mm Z向量程：320mm X軸檢測方法：高精度光柵傳感器/分辨率：0.2μm Z1向量程：±0.5mm，±1.25mm，±2mm，±5mm X軸精度：±（3+0.02L）μm Z1軸精度：±0.3%f.s. X軸直線度：1.2μm/100mm X軸測量速度： 0.1,0.2,0.5,1mm/s,自定義 驅動方式及速度：X軸 Z軸均為 電動 4檔,可自定義速度 量程與分辨率比例：65536:1（16位） 傳感器類型：差動變壓器,2段式
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