
工作原理
渦輪分子泵的轉子葉片具有特定的形狀,在它以20000~30000r/min的高速旋轉的同時,葉片將動量傳給氣體分子。葉片高速旋轉,其周邊的線速度一般200~300m/s,相當于空氣分子平均速率的一半。為了獲得高真空,渦輪分子泵中裝有多級。上級葉片輸送過來的氣體分子又會收到下級葉片的作用繼續被壓縮到更下級。因此,渦輪分子泵的的一個特點是對一般氣體的抽出較為有效。例如對于氮氣,其壓縮比可以達到109 但是渦輪分子泵抽除分子質量較小的氣體能力較差,例如氫氣,其壓縮比僅有103 。
由于渦輪分子泵對于氣體的壓縮比很好,因此工作時油蒸汽的回流問題基本可以忽略不計。渦輪分子泵的極限真空度能達到10-8Pa的數量級,抽速可以達到1000L/s,達到較大抽速的壓力區間是1~10-8Pa之間,因此在使用時要以旋片機械泵作為其前級泵。
渦輪分子泵注意事項
1、不能在前級泵工作時(前級管路接通)和真空室處于真空狀態時將渦輪分子泵停掉,否則將會使油蒸氣迅速從前級管路返流到泵的清潔端。
2、分子泵系統在停機充干燥氣體前,一定要先將分子泵冷卻水關閉,且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級管路進行充氣。
3、選擇系統前級泵的大小時,應使渦輪分子泵的前級保持在分子流狀態下。
4、不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉速下運行。
5、分子泵入口應裝設防護網,以避免異物進入泵內損壞泵轉子和定子葉片。
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