電子束蒸發鍍膜機原理
北京泰科諾科技有限公司自2003年成立以來,一直專注于真空設備的研發、制造,集真空鍍膜設備、真空應用設備等相關設備及工藝的研發、制造、銷售、服務于一體的高新技術企業。主營產品蒸發鍍膜機,電子束蒸鍍機,磁控濺射鍍膜機,電子束蒸發鍍膜機,多弧離子濺射鍍膜機,熱絲CVD設備,裝飾鍍膜機,硬質涂層設備等。
電子束蒸鍍機
原理:在高真空下,電子槍燈絲加熱后發射熱電子,被加速陽極加速,獲得很大的動能轟擊到的蒸發材料上,把動能轉化成熱使蒸發材料加熱氣化,而實現蒸發鍍膜。電子束蒸發源由發射電子的熱陰極、電子加速較和作為陽極的鍍膜材料組成。電子束蒸發源的能量可高度集中,使鍍膜材料局部達到高溫而蒸發。通過調節電子束的功率,可以方便的控制鍍膜材料的蒸發速率,特別是有利于高熔點以及高**屬和化合物材料。
技術指標:
可在高真空下蒸發不同厚度的各種金屬與氧化物薄膜,廣泛應用于物理,生物,化學,材料,電子等領域。
蒸鍍薄膜種類:Au, Ti, Cr, Ag, Al, Cu, FeNi, AuGe, Pt, Pb, In,電子束蒸鍍機廠家, Mo, SiO2等
極限真空:5E-8 Torr( 30分鐘從 atm 抽到 5E-6 Torr )
薄膜均勻性:±4% ( 4英寸 )
裝片:小于6英寸的任意規格的樣品若干
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電子束蒸發鍍膜機的結構組成
北京泰科諾科技有限公司自2003年成立以來,一直專注于真空設備的研發、制造,集真空鍍膜設備、真空應用設備等相關設備及工藝的研發、制造、銷售、服務于一體的高新技術企業。主營產品蒸發鍍膜機,磁控濺射鍍膜機,電子束蒸發鍍膜機,多弧離子濺射鍍膜機,電子束蒸鍍機生產商,熱絲CVD設備,裝飾鍍膜機,硬質涂層設備等。
電子束蒸鍍機
蒸發系列卷繞鍍膜設備主要用于在塑料、布、紙、金屬箔等帶狀材料表面真空蒸鍍金屬膜。產品廣泛用于包裝、印刷、防偽、紡織、電子工業等領域。本系列設備具有運行平穩、收放鍍膜平齊、膜層均勻、生產周期短、能耗低、操作維護方便、性能穩定等特點
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比較激光表面處理技術和電子束表面處理技術的異同點
北京泰科諾科技有限公司自2003年成立以來,一直專注于真空設備的研發、制造,集真空鍍膜設備、真空應用設備等相關設備及工藝的研發、制造、銷售、服務于一體的高新技術企業。主營產品蒸發鍍膜機,磁控濺射鍍膜機,電子束蒸發鍍膜機,多弧離子濺射鍍膜機,熱絲CVD設備,裝飾鍍膜機,硬質涂層設備等。
電子束蒸鍍機
電子束、離子束、激光束是表面工程領域內的三大載體,號稱三束改性。都具有高能量密度特性。
顧名思義電子束加工是以激發電子作為載體,離子束則以離子。離子束加工是一種元素注入過程,具有輻照損傷、噴丸作用、表面壓縮、形成表面非晶態,形成彌散化合物質點等效應,而電子束與激光束的主要作用在高能量,沒有輻照、表面壓縮等特性。
1.加工原理:電子束和離子束的加工原理相似,都是發生撞擊效應、濺射效應和 注入效應,從而實現加工;而激光束加工的機理是熱效應。
2.加工裝置:電子束和離子束相似,主要由電子槍系統、真空系統、控制系統、 和電源系統做成;而激光束是由激光器、電源、光學系統、機械系統等組成。
3.加工特點:
電子束: (1).束徑小、能量密度高; (2).非接觸加工,加工過程中工具與加工工件之間不存在明顯的機械切削力,不產生宏觀 應力和變形; (3).被加工對象范圍廣; (4).電子束能量高,加工速度快、效率高; (5).電子束加工需要一套專用設備和真空系統,價格昂貴。
離子束: (1).加工精度和表面質量高; (2).加工材料廣泛; (3).加工方法豐富; (4).性能好,易于實現自動化; (5).應用范圍廣泛,可根據加工要求選擇。
激光束: (1).加工精度高; (2).加工材料范圍廣; (3).加工性能好; (4).加工速度快、效率高; (5).價格昂貴 加工方法:
電子束; (1).電子束掃描曝光; (2).電子束投影曝光; (3).電子束表面改性。
離子束: (1).離子束濺射去除加工; (2).離子束濺射鍍膜加工; (3).離子束注入加工; (4).離子束曝光加工。
激光束: (1).加工精度高; (2).加工材料范圍廣; (3).加工性能好; (4).加工速度快、效率高; (5).價格昂貴。
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北京泰科諾科技有限公司自2003年成立以來,一直專注于真空設備的研發、制造,集真空鍍膜設備、真空應用設備等相關設備及工藝的研發、制造、銷售、服務于一體的**企業。公司在真空鍍膜設備和真空應用設備的研發和制造上處于行業較高地位,如聯合高校、中科院所共同研發的粉體顆粒表面鍍膜設備、異形體表面鍍膜設備、熱絲CVD金剛石生長設備、真空升華提純設備等。公司自主生產的真空產品共有八大類,涵蓋低真空、高真空、**高真空的上百品種,廣泛應用于大專院校、科研院所的教學、實驗;企業的產品研發、產品中試和生產。產品已經覆蓋全國的28個省市,有**過1000臺設備在運行,而且**澳大利亞、美國、土耳其、哈薩克斯坦、馬來西亞等國,深受用戶的**。
