GB/T 11446.1-1997
電 子 級 水
代替GB 11446.1--89
Electronic grade water
1 范圍
本標準規(guī)定了電子級水的級別、要求、試驗方法和檢驗規(guī)則.
本標準適用于電子元器件生產(chǎn)和清洗用水.
2 引用標準
下列標準所包含的條文,通過在本標準中引用麗構(gòu)成為本標準的條文.本標準出版時,所示版本均為有效.所有標準都會被修訂,使用本標準的各方應探討使用下列標準較新版本的可能性.
GB/T 11446.3——1997 電子級水測試方法通則
GB/T 11446.4——l997 電子級水電阻率的測試方法
GB/T 11446.5——1997 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法
GB/T 11446.6——1997 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法
GB/T 11446.7——1997 電子級水中痕量氯離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的離子色譜測試方法
GB/T 11446.8——1997 電子級水中總有機碳的測試方法
GB/T 11446.9——1997 電子級水中微粒的儀器測試方法
GB/T 11446.10——1997 電子級水細菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測試方法
3 定義
本標準采用下列定義.
3.1電子級水electronic grade water
制造電子元器件工藝過程中所用的高純水.
3.2電阻率resistivity
在規(guī)定溫度下,1 cm²水溶液兩相對面之間測得的電阻值.通常用符號P表示,單位為Ω﹒cm,純水的理論電阻率為18.3 MΩ﹒cm (25℃).
3.3全硅total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態(tài)存在的硅的總量.
3.4可溶性硅soluble silicon
以單一分子狀態(tài)存在于水中的溶解性硅酸鹽.
3.5微粒性物質(zhì)granular matter
除氣體以外,以非液態(tài)分散在水中,并形成非均相混合物的物質(zhì).
3.6總有機碳(TOC) total organic carbon
水中以各種有機物形式存在的碳的總量.包括易被一般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊方法氧化的有機物。
3.7吸附absorption
某些多孔性粒狀物質(zhì)由于表面活性作用而具有吸著某些物質(zhì)的能力。
3.8凝聚coagulation
在源水中加入某種電解質(zhì)后,水中帶有電荷的膠體微粒被電解質(zhì)中的異種電荷中和,從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現(xiàn)象。
3.9絮凝flocculation
水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結(jié)為絮狀沉淀的現(xiàn)象。絮凝一般是在凝聚作用后緩慢進行,可除去水中更細的微粒。
3.10砂濾器sand filter
用于盛放不同直徑的砂粒,以除去源水中懸浮固體和混濁物的裝置。
3.11 活性碳過濾器activated carbon filter
裝有粒狀活性碳的過濾器,用于除去水中的可溶性有機物和過量的殘余氯。
3.12離子交換ion exchange
一種不溶性物質(zhì)與一種液體之間相互交換離子的可逆過程,該過程中物質(zhì)并無實質(zhì)性結(jié)構(gòu)變化.
3.13去離子水deionized water
經(jīng)過離子交換處理,除去了呈離子形式的雜質(zhì)的高純水。
3. 14再生regeneration
離子交換過程操作循環(huán)中的一部分。在該部分中,用一定量的化學試劑通過離子交換樹脂使其恢復交換能力。
*復合床complex bed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個離子交換柱中,將兩柱串聯(lián),使水依次通過兩個柱而被純化,復合床處理水的純度雖不及混合床,但操作較簡單。
3.16混合床mixed bed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻,填充于同一離子交換柱中,其純化效果相當于許多組合床串聯(lián)使用,出水質(zhì)量好但再生比較麻煩.
3.17電滲析electrodialysia
一種分離水中離子的方法。在電滲析器中,陰陽兩較之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分隔成一系列小室,水流通過小室時,在直流電場作用下,水中陽離子向陰極方向移動,但不能通過陽膜;陰離子則相反.這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達到提純水的目的。
3.18反滲透reverse osmosis
亦稱逆向滲透。一種利用滲透原理進行分離的方法。用半透膜將濃水和淡水隔開,并在濃水上施加比滲透壓更強的機械壓力,則濃水*部分水透過半透膜而雜質(zhì)仍留在其中,達到分離提純的目的.
3.19反滲透膜reverse osmosis membrane
用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜,其孔徑一般為0. 02 µm或更小,可用于除去無機離子、有機物、細菌等,使水純化。
3. 20微孔膜濾器membrane filter
一種平均孔徑(直徑)大于0. Olµm的薄膜,能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。
3.21**過濾uhrafihration
一種過濾方法,在一定壓力下使水流通過超濾膜以除去水中的較細微粒、膠體和細菌等.
3.22終端terminal
高純水生產(chǎn)流程中經(jīng)過各道凈化工藝后,水的出口或使用地點。
4 分類
4.1電子級水分為四個級別;I級、Ⅱ級、Ⅲ級和Ⅳ級。
4.2標記
I級電子級水標記為:EW-I;
I級電子級水標記為;EW-Ⅱ;
I級電子級水標記為;EW-Ⅲ;
Ⅳ級電子級水標記為.EW-Ⅳ。
5 要求
電子級水的技術指標應符合表1的規(guī)定。
表1 電子級水的技術指標
級 別
指 標
EW-I
EW-Ⅱ
EW-Ⅲ
EW-Ⅳ
電阻率
MΩ﹒cm(25℃)
18以上
(95N時間)
不低于17
15
(95N時間)
不低于13
12.0
0.5
全硅,較大值,µg/L
2
10
50
1000
>1µm微粒數(shù),較大值,個/mL
0.01
5
10
500
細菌個數(shù),較大值,個/mL
0.01
0.1
10
100
銅,較大值,µg /L
0.2
1
2
500
鋅,較大值,ug/L
0.2
1
5
500
鎳,較大值.µg/L
0.1
1
2
500
鈉.較大值,µg /L
0.5
2
5
1000
鉀,較大值.ug/L
0.5
2
5
500
氯,較大值.ug/L
l
l
10
1000
硝酸根,較大值,ug/L
1
1
5
500
磷酸根,較大值.ug/L
1
1
5
500
硫酸根,較大值, ug/L
1
1
5
500
總有機碳,較大值,ug/L
20
100
200
1000
6試驗方法
6.1電阻率
電子級水的電阻率按GB/T 11446.4--1997的測試方法進行測定.
6.2全硅含量(以二氧化硅計)
電子級水全硅(以二氧化硅計)含量按GB/T 11446.6--1997的測試方法進行測定。
6.3微粒數(shù)
電子級水中微粒數(shù)按GB/T 11446.9--1997的測試方法進行測定.
6.4細菌總數(shù)
電子級水中細菌總數(shù)按GB/T 11446.10--1997的測試方法進行測定。
6.5痕量金屬含量
電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446. 5--1997的測試方法進行測定。
6.6氯離子,硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量
電子級水中氯離子、硫酸根離子、硝酸根離子、磷酸根離子等陰離子的含量按GB/T 11446.7--
1997的測試方法進行測定.
6.7總有機碳含量
電子級水中總機碳含量按GB/T 11446.8--1997的測試方法進行測定。
7 檢驗規(guī)則
7.1檢驗部門
電子級水的檢驗均應在制造廠的水*驗部門進行.
7.2檢驗分類
電子級水的檢驗分為交收檢驗和例行檢驗.
7.3交收檢驗(抽驗項目)
7.3.1電子級水技術指標中電阻率、鈉離子、全硅(以二氧化硅計)為交收檢驗項目。
7.3.2在用水終端采樣試驗后檢驗結(jié)果如有一項不合格時,應再次采樣進行檢驗,如仍有一項指標不
合格,應提出改進措施直到水質(zhì)合格。
7.4例行檢驗(全檢項目)
例行檢驗每年進行一次,當制水條件發(fā)生變更時也應進行例行檢驗。
7.4.1檢驗項目為表1規(guī)定的全部技術指標要求.
7.4.2在用水終端采樣后進行例行檢驗,檢驗結(jié)果如有一項以上不合格時,應再次采樣進行檢驗,如仍有一項以上指標不合格,應提出改進措施直到水質(zhì)合格.
一、原水預處理系統(tǒng)
作為純水生產(chǎn)的依托是非常重要的。所以要生產(chǎn)純凈水一定是要選擇原水水質(zhì)比較好的地方。如山泉、深井等。在這里牽扯到一個非常重要的指數(shù)就是“電導率”。一般而言電導率,越低。水越純凈。現(xiàn)在采用的水處理工藝都是采用的反滲透。經(jīng)過處理后的水一般能達到90%——99%的脫鹽率。下面我介紹一下這個系統(tǒng)的組成部件。
1.原水泵 原水泵是為原水預處理系統(tǒng)提供原水壓力的作用。如果原水有壓力就*可以不用這個設備。一般要求原水壓力>=0.3MP
2.原水箱 原水箱的作用更簡單,是儲存原水用的。這是怕原水萬一供不上作一個中轉(zhuǎn)(通常添加浮球開關是整個系統(tǒng)自動化程度更高)。
3.石英砂過濾器 采用石英砂濾料以除去原水中較大顆粒的懸浮物、泥沙、雜質(zhì)等,降低水的混濁度。而且還可以使水中的有機物質(zhì)、細菌、病毒等隨著濁度的降低而被大量去除,并為濾后消毒創(chuàng)造了良好條件。
4.活性炭過濾器 利用活性碳的吸附能力有效地吸附原水中的有機物、游離性余氯、膠體、微粒、微生物、某些金屬離子及脫色等。
二、反滲透系統(tǒng)
反滲透系統(tǒng)是整個純凈水系統(tǒng)的核心部件,只有通過反滲透才能達到純凈水的標準。反滲透系統(tǒng)主要采用膜過濾工藝。然后水分子可以通過反滲透膜。其他一些如鈣、鎂、鈉等離子隨廢水一起排掉。下面本系統(tǒng)的組成部件。
1.精密過濾器 本過濾器主要過濾水中的大顆粒分子。
2.特種高壓泵 一般這里我們采用的高壓泵為南方特種泵。為反滲透設備提供強勁的動力。3.反滲透膜
反滲透膜采用的是膜過濾技術。讓水分子通過其他一些離子不能通過達到凈化水的目的。
三、中間水箱及EDI系統(tǒng)
EDI**純水機工作原理:
EDI裝置將離子交換樹脂充夾在陰/陽離子交換膜之間形成EDI單元。EDI組件中將一定數(shù)量的EDI單元間用網(wǎng)狀物隔開,形成濃水室。又在單元組兩端設置陰/陽電極。在直流電的推動下,通過淡水室水流中的陰陽離子分別穿過陰陽離子交換膜進入到濃水室而在淡水室中去除。而通過濃水室的水將離子帶出系統(tǒng),成為濃水. EDI設備一般以反滲透(RO)純水作為EDI給水。RO純水電導率一般是40-2μS/cm(25℃)。EDI純水電阻率可以高
** : 凱旭 ;
電壓 : 220/380(V) ;
出水量 : 0.5噸/小時 ;
水電阻率 : ≥15MΩ ;
操作壓力 : 0.2-1.0(Mpa) ;
型號 : KX2 ;
加工定制 : 是 ;
注冊資金:人民幣100.00萬