萬級凈化工程設(shè)計安裝,萬級凈化工程施工
- 作者:廣州安諾凈化工程有限公司 2018-04-23 16:15 15050
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一、原理
亂流潔凈室原理
亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流(從送風(fēng)口到回風(fēng)口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動,將會彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實質(zhì)是:突變流;非均勻流。
這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更全面。紊流主要決定于雷諾數(shù),也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個高效過濾器**送的送風(fēng)形式,則即使流速較低,也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果,這就因為它是一個突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混,而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。
所以,概括地說,亂流潔凈室的作用原理是:當(dāng)一股干凈氣流從送風(fēng)口送入室內(nèi)時,迅速向四周擴(kuò)散、混合,同時把差不多同樣數(shù)量的氣流從回風(fēng)口排走,這股干凈氣流稀釋著室內(nèi)污染的空氣,把原來含塵濃度很高的室內(nèi)空氣沖淡了,一直達(dá)到平衡。所以氣流擴(kuò)散得越快,越均勻,稀釋的技果就越好。
單向流潔凈室原理
在單向流潔凈室內(nèi),從送風(fēng)口到回風(fēng)口,氣流流經(jīng)途中的斷面幾乎沒有什么變化,加上進(jìn)風(fēng)靜壓箱和高效過濾器的均壓均流作用,全室斷面上的流速比較均勻,而至少在工作區(qū)內(nèi)流線單向平行,沒有渦流。這也就是單向流潔凈室的三大特點。這里的流線單向平行,是指時均流線彼此平行,方向單一,并且干凈氣流不是一股或幾股,而是充滿全室斷面,所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對室內(nèi)臟空氣的摻混稀釋作用,而是靠潔凈氣流推出作用將室內(nèi)臟空氣沿整個斷面排至室外,達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。所以,前聯(lián)邦德國有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯(lián)稱之為“被擠壓的弱空氣射流”。干凈空氣就好比一個空氣活塞,沿著房間這個“氣缸”,向前(下)推進(jìn),而使塵粒只能前(下)進(jìn),沒有返回,把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。
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二、凈化工程的控制
潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜**過25度。
濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度**過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)較佳溫度范圍為35—45%。
潔凈室中的氣壓規(guī)定
對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)**外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
1.潔凈空間的壓力要**非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級別高的空間的壓力要**相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。
潔凈室中的氣流速度規(guī)定
這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時再說明。
對于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求;
(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。
(2)吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。
對于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室),由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。過去都參考美國20gB標(biāo)準(zhǔn),采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是較大的,為了節(jié)能,也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。
在我國,《空氣潔凈技術(shù)措施》和lOOOlx
100000級: >1000LX
人工光300lx有較好的效果,當(dāng)工件精細(xì)程度更高時,500x也是允許的。對于要紅燈照明的地方,如電子行業(yè)的光刻車間,其照度一般為25—501x),用天然光時可允許更高的照度,因而對工作是有利的,所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的,這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動向。
潔凈室中的防靜電
潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生,因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質(zhì)量的一個不可忽視的方面。
所謂靜電,是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負(fù)<一)電荷等量的均勻的電中性狀態(tài),而使電荷過剩,物體呈帶電狀態(tài),由于這些電荷平時是不流動的,故稱靜電。
在潔凈室內(nèi)靜電導(dǎo)致的事故有以下幾方面;
1.靜電電引起的靜電電擊,引起人的不安全和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒,由摔倒又致傷);
2-靜電放電引起的放電電流,可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動作,例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內(nèi),搖晃數(shù)次后,與非門柵較嚴(yán)重?fù)舸┱哂?9塊,失效率競達(dá)78%,這是因為半導(dǎo)體器件對靜電放電十分靈敏;
3.靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導(dǎo)致電子儀器和裝置的雜音和誤動作;
4.靜電放電的發(fā)光可導(dǎo)致照像肢片等感光破壞;
5.靜電的力學(xué)現(xiàn)象可導(dǎo)致篩孔被粉塵堵塞,紡紗線紛亂,印刷品深淺不均和制品污染;
6.靜電放電引起的較危險的災(zāi)害是成為可燃物的火源井引起爆炸,例如國外文獻(xiàn)統(tǒng)計,在手術(shù)室使用爆炸性麻醉劑的86000次中,爆炸的36次,其中由靜電引起的達(dá)21次;
靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累,而氣流的流動,氣流和管道、風(fēng)口、過濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服之間的摩擦,工藝上的研磨,噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,所有選些都可能產(chǎn)生靜電,在一般情況下,越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體(絕緣體),由于電荷產(chǎn)生后不易流動,因此表現(xiàn)為越容易帶電。
靜電問題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重,是因為不但在潔凈室中具備前述產(chǎn)生靜電的多種工藝因素,而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面,尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率,都較易產(chǎn)生靜電和集聚靜電,在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前,這些材料料是被廣泛采用的。
三、作用
控制產(chǎn)品?(如硅芯片等)?所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。
四、分類
亂流式?(Turbulent Flow)
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)?進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板亂流式回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時相當(dāng)長一段時間。
層流式(Laminar)
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率**之過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點:管理容易,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
???亂流式
缺點:構(gòu)造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當(dāng)占空間,維修更換過濾器較麻煩。
復(fù)合式(Mixed Type):
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部**潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域**覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴(kuò)充容易;?B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為較適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。
局部潔凈工程
潔凈工作臺:等級Class 1~100級。
潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。
五、空氣潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)及規(guī)范
經(jīng)濟(jì)和科技發(fā)達(dá)的國家和地區(qū)都有自己的空氣潔凈標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范標(biāo)準(zhǔn),都規(guī)定了有關(guān)的潔凈度等級,例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GBJ73-84),1996年該規(guī)范進(jìn)行了較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗收規(guī)范》(JGJ71-90)以指導(dǎo)施工和驗收的重要文件。目前,該規(guī)范在重新修訂中。
GBJ73-84規(guī)定的潔凈度等級
等級 每立方米(升)空氣中》0.5μm塵粒數(shù) 每立方米(升)空氣中》5μm塵粒數(shù)
100 《35*100(〈3.5〉 ?
1000 《35*1000(〈35〉 《250(〈0.25〉
10000 《35*10000(〈350〉 《2500(〈2.5〉
100000 《35*100000(〈3500〉 《25000(〈25〉
廣州安諾凈化工程有限公司從設(shè)計、生產(chǎn)、安裝到售后服務(wù)都尊循嚴(yán)格的管理體系去執(zhí)行。在設(shè)計中依據(jù)不**業(yè),不同功能設(shè)計出各種不同風(fēng)格的方案;在生產(chǎn)中依據(jù)99+1=0的管理理念, ISO9001:2000質(zhì)量管理體系嚴(yán)把質(zhì)量關(guān),**出廠的每一件產(chǎn)品都是優(yōu)質(zhì)的;在安裝現(xiàn)場嚴(yán)格按照設(shè)計圖紙進(jìn)行施工組裝,力求做到較好。多年間造就一大批質(zhì)量優(yōu)良的工程,受到眾多客戶的**。
公司的主要產(chǎn)品:
生產(chǎn)車間裝修:潔凈室、無菌室、潔凈車間、無塵車間、潔凈廠房的建造;環(huán)氧樹脂地面、 PVC地板;電子調(diào)風(fēng)閥、空調(diào)凈化系統(tǒng)、通風(fēng)系統(tǒng)工程、不銹鋼工程等;
凈化設(shè)備:粗,中,*過濾器;風(fēng)淋室、凈化空調(diào)、潔凈傳遞窗、空氣自凈器;潔凈工作臺、潔凈服、潔凈送風(fēng)口、活性碳吸附裝置、廢氣處理裝置、除塵器等。
產(chǎn)品價格:500.00 元/平方米 起
發(fā)貨地址:廣東廣州包裝說明:不限
產(chǎn)品數(shù)量:5000.00 平方米產(chǎn)品規(guī)格:不限
信息編號:68950797公司編號:14334692
相關(guān)產(chǎn)品:潔凈室,潔凈車間,無塵車間
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