它通過抗化學腐蝕的隔膜泵吸出滯留在旋片泵內的氣體，
使腐蝕性氣體在旋片泵內的時間和數量大幅減少，進而大幅提高旋片泵的使用壽命，同時保留旋片泵制造的高真空。

（1）二級旋片泵，（1.1）旋片泵的吸入端，（2）隔膜泵，（3）排氣過濾器，（4）減壓閥，（4.1）復合泵組的壓力口，
（5）冷凝水分離器，（6）機械式真空度檢測儀，（7）氣體沖洗裝置（開關），（8）電源開關。

復合泵組的功能如下
：二級旋片泵的機油池（1）由二級隔膜泵（2）抽真空。在旋片泵的壓力管接口處有一排氣過濾器
（3），其作用是分離高壓吸入時產生的機油蒸汽（油霧）。為了降低大流量泵送時，由于旋片泵與隔膜泵之間汲取量的差異
導致在管道中形成的高壓壓力，排氣過濾器與一個減壓閥（4）連接。隔膜泵壓力側的分離器（5）將排出蒸汽的冷凝水收集在一起。
如果抽真空的過程中，存在固體顆粒，并對旋片泵的工作可靠性帶來不良影響時，可為泵連接一個機械的機油過濾器。

Chemvac系列的復合組泵適用于特殊工況的抽真空過程，例如用于抽取腐蝕性的氣體，抽取揮發了的稀釋劑和抽取含有油霧的蒸汽。

影響泵用機械密封的外因分析
  　人們在分析機械封泄漏原因時，習慣在機械封自身方面查找原因，比如：它的選型是否合適，材料選擇是否正確，密封面的比壓是否正確。摩擦副的選擇是否合理，端蓋與軸是否垂直等等，而很少在機械密封的外部條件方面去查找原因，其實機械密封的外因也挺重要的，比如：泵給機械密封創造的條件是否合適，
輔助系統的配置是否合適等。
一、機械密封的原理及要求
機械密封系指兩塊密封元件在其垂直于軸線的光潔而平直的表面上相互貼合，并作相對轉動而構成的密封裝置，他通常由靜環、動環、彈簧加荷裝置（包括推環，彈簧盒）輔助密封圈（動環密封圈、靜環密封圈）等元件組成，防轉套里面的防轉銷固定在外壓蓋上，以防止靜環轉動。
其中動環和靜環的端面組成一對摩擦副，動環靠密封室內液體的壓力使其端面壓緊在靜環端面上，并在兩環端面上產生適當的比壓和保持一層較薄的液體膜而達到密封的，因此從結構來看，機械密封主要是將其較易泄漏的軸向密封，改變為不易泄漏的端面密封，機械密封在實際運行過程中，不是一個單獨的部件，它是與其他的零部件一起組合起來運行的
同時通過其基本原理可以看出，機械密封的正常運行必須具備以下條件：          （1）泵軸的竄量不能太大；
（2）機械密封處的泵軸撓度要小，只有滿足類似這樣的外因，再加上良好的機械密封自身性能，才能達到理想的密封效果。

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