無塵車間內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電都控制在某一需求范圍內。防靜電用適當?shù)目諝庠鰸窨梢杂行У慕档秃头乐轨o電的產生。

隨著工業(yè)和科學技術的發(fā)展，對生產環(huán)境的潔凈度提出了越來越高的要求，空氣凈化工作也越來越引起大家的重視。近年來，我們結合工程實踐做了一些潔凈車間的濕度調研。從實踐中我們體會到，潔凈車間濕度控制是無塵車間生產必需具備的重要條件，相對濕度是無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。

半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內，允許誤差在 1%的狹窄的范圍內，例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理(duv)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到 5%的范圍內。

近年，在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過程，相對濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素，其中包括：
1、細菌生長；
2、工作人員感到室溫舒適的范圍；
3、出現(xiàn)靜電荷；
4、金屬腐蝕；
5、水汽冷凝；
6、光刻的退化；
7、吸水性；

細菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對濕度**過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度**過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時，可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至較低。

相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。

高濕度實際上減小了無塵車間、潔凈室表面的靜電荷積累──這是大家希望的結果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度**過50%時，靜電荷開始*消散，但是當相對濕度小于30%時，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時間。

相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導體無塵車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。

現(xiàn)在，許多行業(yè)都實施無塵車間凈化工程，它能將空氣中的污染物和塵埃排除（控制），制造一個潔凈舒適的環(huán)境。凈化工程主要體現(xiàn)在實驗室、食品車間、手術室、電子車間、生物制藥等領域。

深圳創(chuàng)鋒宇科技有限公司

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